• MEMS: die Stars unter den Sensoren

  • MEMS sind Sensoren im Chipformat, die mechanische Bewegungen in elektrische Signale umwandeln. Das Innere…

  • …von MEMS besteht unter anderem aus mikroskopischen Kämmen, die gleichmäßig ineinander schwingen. An den Kämmen…

  • …liegt elektrische Spannung an, die gemessen wird. Plötzliche Bewegungen verändern den Schwingungszustand…

  • …und damit die Spannung. So kann etwa in einem Auto die Beschleunigung gemessen werden.

Micro-electro-mechanical Systems, kurz MEMS, sind Bestandteil von zig Sensoren, die unter der Karosserie verbaut werden. Vor allem dann kommen sie zum Einsatz, wenn es um Fahrsicherheit und Komfort geht. Sie messen so empfindlich und sind es auch, da sie unter laborähnlichen Bedingungen produziert werden.

Wenn wir das Innenleben von MEMS-Chips betrachten, sehen wir eine Mechanik, die so filigran ist wie ein Uhrwerk – nur um ein Vielfaches kleiner. Hier greifen die Finger winziger Kämme ineinander, die nicht mal ein Viertel so dick sind wie ein menschliches Haar. Bei einer plötzlichen Veränderung, etwa wenn das Auto scharf bremst oder ins Rutschen gerät, werden die Kämme gegeneinander verschoben. Dann spielt der Abstand zwischen den Fingern eine Rolle: Je nachdem, wie groß er ist, verändert sich die elektrische Spannung an den Kämmen. Dadurch werden verschiedene Prozesse ausgelöst.

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