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Unsere Forschungsexperten

Christoph Schelling, Dr.

Mikrosysteme - Sinne für die Technik & Technik für die Sinne: für die Mobilität, mobile Endgeräte und das Internet der Dinge und Dienste

„Das Verständnis von komplexen Wirkzusammenhängen und der kreative Einsatz neuer Technologien sichern den Wettbewerbsvorsprung von Bosch und ermöglichen zuverlässige und innovative "Technik fürs Leben"."

Christoph Schelling, Dr.

Zusammen mit meinem Team bei Bosch Research und den Kollegen in der Entwicklung beim Geschäftsbereich Automotive Electronics arbeite ich an einem besseren Verständnis unserer künftigen Mikrosysteme und deren Fertigungsprozessen. Mit unserer Technologie können wir hochpräzise Mikro- und Nanostrukturen aus Dünnfilmen bis auf einzelne Atomlagen im Forschungsreinraum darstellen. Diese Präzision ist unabdingbar für die zuverlässige Funktion heutiger smarter, hochleistungsfähiger optischer und mechanischer Mikrosysteme.

Lebenslauf

Bosch Research, Innovative MEMS-Technologie

2011
Senior Experte für MEMS Technologie, 2012 - Erfinder des Jahres Bosch Research

Automotive Electronics, Qualitätsmanagement

2006
Senior Experte für Degradationsmechanismen und Zuverlässigkeit von Halbleiterbauelementen

Automotive Electronics, Sensortechnologiezentrum

2001
Entwicklung von Waferprozessen für die Serienfertigung

Ausgewählte Publikationen

  • Micromechanical structural element having a diaphragm and method for producing such a structural element

    Matthias Fuertsch et al. (2006)

    Micromechanical structural element having a diaphragm and method for producing such a structural element
    • Matthias Fuertsch, Stefan Pinter, Heribert Weber, Frank Fischer, Lars Metzger, Christoph Schelling, Frieder Sundermeier
    • US Patent 7148077
  • A novel micromachining process for the fabrication of monocrystalline Si-membranes using porous silicon

    Simon Armbruster et al. (2003)

    A novel micromachining process for the fabrication of monocrystalline Si-membranes using porous silicon
    • S Armbruster, F Schafer, G Lammel, H Artmann, C Schelling, H Benzel, S Finkbeiner, F Larmer, R Ruther, O Paul
    • TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems. Digest of Technical Papers (Cat. No.03TH8664), Boston, MA, USA, 2003, pp. 246-249 vol.1
    • doi: 10.1109/SENSOR.2003.1215299
  • Micromechanical component and corresponding method for its manufacture

    Frank Reichenbach et al (2010)

    Micromechanical component and corresponding method for its manufacture
    • F Reichenbach, F Laermer, S Kronmueller, C Schelling, C Leinenbach
    • US Patent 7,834,409
  • Next generation pressure sensors in surface micromachining technology

    Gerhard Lammel et al. (2005)

    Next generation pressure sensors in surface micromachining technology
    • G Lammel, S Armbruster, C Schelling, H Benzel, J Brasas, M Illing, R Gampp, V Senz, F Schafer, S Finkbeiner
    • The 13th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2005. Digest of Technical Papers. TRANSDUCERS '05., Seoul, South Korea, 2005, pp. 35-36 Vol. 1
    • doi: 10.1109/SENSOR.2005.1496352
  • Micromechanical diaphragm sensor having a double diaphragm

    Matthias Illing et al. (2011)

    Micromechanical diaphragm sensor having a double diaphragm
    • Matthias Illing, Heribert Weber, Christoph Schelling, Heiko Stahl, Stefan Weiss
    • US Patent 7,863,072
  • Sensor element with trenched cavity / Sensor element with trenched cavity

    Hubert Benzel et al. (2008)

    Sensor element with trenched cavity / Sensor element with trenched cavity
    • Hubert Benzel, Stefan Finkbeiner, Matthias Illing, Frank Schaefer, Simon Armbruster, Gerhard Lammel, Christoph Schelling, Joerg Brasas
    • US Patent 7,354,786
  • MEMS device having a microphone structure, and method for the production thereof

    Christoph Schelling et al. (2016)

    MEMS device having a microphone structure, and method for the production thereof
    • C Schelling, S Singer, J Zoellin
    • US Patent 9,403,670
  • Micromechanical sensor

    Hubert Benzel (2007)

    Micromechanical sensor
    • H Benzel, F Schaefer, C Schelling
    • US Patent 7,213,465
  • Kinetic Growth Instabilities on Vicinal Si(001) Surfaces

    Christoph Schelling et al. (1999)

    Kinetic Growth Instabilities on Vicinal Si(001) Surfaces
    • Christoph Schelling, Gunther Springholz, F. Schäffler
    • Physical Review Letters 83(5):995-998
  • On the microscopic origin of the kinetic step bunching instability on vicinal Si(001)

    J Mysliveček et al. (2002)

    On the microscopic origin of the kinetic step bunching instability on vicinal Si(001)
    • J Mysliveček, C Schelling, F Schäffler, G Springholz, P Šmilauer, J Krug, B Voigtländer
    • Surface Science 520(3):193-206

Interview mit Christoph Schelling, Dr.

Senior Experte für MEMS Technologie

Erzählen Sie doch mal: was fasziniert Sie an der Forschung?
Der kreative Freiraum, eigene Ideen einzubringen, voranzutreiben und dadurch einen kleinen Teil Bosch-Zukunft gestalten zu können – das macht den besonderen Reiz aus.

Was macht die Forschung bei Bosch besonders?
Das wissenschaftliche, interdisziplinäre Arbeiten in einem kreativen Team von hochqualifizierten, brillanten Köpfen an anspruchsvollen, herausfordernden Themen ist für mich eine ständige Quelle der Motivation und Inspiration. Was als unmöglich galt, wird in diesem Umfeld plötzlich möglich.

Woran forschen Sie bei Bosch?
Ich denke darüber nach, wie wir unsere Mikrosysteme weiter verbessern können, damit sie noch zuverlässiger und präziser funktionieren. Beispielweise setze ich mich mit der Frage auseinander, wie die Strukturen noch präziser gefertigt werden können. Es ist uns vor Kurzem gelungen, die Fertigungstoleranzen soweit zu verringern, dass wir Strukturen auf wenige Hundert Atome genau herstellen können. Das ist ein Quantensprung in der Prozesstechnik!

Was sind die größten wissenschaftlichen Herausforderungen in Ihrem Forschungsfeld?
Mikrosysteme sind eine immer wiederkehrende Herausforderung. Man denkt, dass man ein Mikrosystem verstanden hat und erlebt dann doch hin und wieder noch Überraschungen. Zum Beispiel ist das Verständnis von Alterungsphänomenen und Wechselwirkungen längst nicht so vollkommen wie in der hochstandardisierten Mikroelektronik. Hier ist Domänenwissen aus mehreren Disziplinen (Mechanik, Elektrostatik, Chemie, ...) gefragt.

Wie werden Ihre Forschungsergebnisse zu "Technik fürs Leben"?
Ich arbeite eng mit den Kollegen in der Entwicklung beim Geschäftsbereich Automotive Electronics zusammen, sodass unsere Forschungsergebnisse zeitnah und direkt in Produkte transferiert werden können. Die Produkte ermöglichen sowohl Sicherheits- als auch Komfortfunktionen in praktisch allen Lebensbereichen.

Christoph Schelling, Dr.

Ihr Kontakt zu mir

Christoph Schelling, Dr.
Senior Experte für MEMS Technologie

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