Europäischer Erfinderpreis Kategorie „Industrie" 2007
Als die deutschen Erfinder Dr. Franz Lärmer und Andrea Urban durch die Anpassung von Mikrotechniken das Bosch-Verfahren entwickelten, bahnten sie den Weg zu preisgünstigen Sicherheitsausrüstungen in der Kraftfahrzeugtechnik.
Lärmer und Urban arbeiteten in der Forschungsabteilung von Robert Bosch in der Sensor- und Prozessentwicklung und entwickelten dort ein Verfahren zur Herstellung von Hochpräzisions-Siliziumsensoren mit Plasmatechnik. Zweck ihrer Erfindung bestand darin, tiefe Mikrostrukturen mit vertikalen Seitenwänden in hoher Geschwindigkeit und großer Genauigkeit in Siliziumscheiben zu ätzen.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum anisotropen Ätzen von Merkmalen, die durch eine mit einem Plasmaätzverfahren hergestellte Ätzmaske (vorzugsweise Aussparungen mit exakt definierten Seiten im Silizium) definiert werden.
Das Ätzverfahren gibt es bereits seit etwa 30 Jahren in der Welt der MEMS. Ein allgemeines Problem bei der Tiefenätzung von Silizium bestand darin, dass das Verfahren auch zur Seite ätzte, wodurch die Seitenwand der Struktur angegriffen wurde, was zu Wandverformungen führte.
Das Verfahren der Erfinder löste das Problem durch den Einsatz eines Fluorkohlenstoff-basierten Plasmas zum Abscheiden einer ätzresistenten Schutzschicht vor Durchführung einer nachfolgenden Ätzstufe. Dieses Plasmaätzverfahren, das heute einfach als Bosch-Verfahren bezeichnet wird, erlaubt die Tiefenätzung in durchdefinierter Weise.
Die Technologie revolutionierte damals den MEMS-Bereich und wird heute in der ganzen Welt zur Herstellung von Silizium-MEMS verwendet.