Bosch treibt nachhaltige MEMS-Produktion voran

Sensoren sind die Grundlage für unser modernes Leben und für die Technologien der Zukunft. Sie helfen Assistenzsystemen Fahrzeuge teilautomatisiert durch komplexen Verkehr zu steuern, ermöglichen es Fitnesstrackern Schritte zu zählen oder machen Game-Controller zu hochpräzisen Steuergeräten in Spielwelten. Bosch ist einer der Pioniere und weltweit führenden Produzenten dieser mikroelektromechanischen Systeme (MEMS): Mehr als vier Millionen MEMS-Sensoren werden täglich für Anwendungen aus Mobilität und Konsumelektronik produziert. Forschung und Entwicklung im Bereich der mikroelektromechanischen Systeme nehmen daher einen hohen Stellenwert ein. Um die Sensorproduktion noch nachhaltiger zu machen, intensiviert Bosch nun die Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten für eine nachhaltigere MEMS-Produktion.

Als Teil des ambitionierten öffentlich geförderten Projektes mit dem Namen GENESIS (GENErate a Sustainable Industry for Semiconductors) bündelt Bosch seine Kräfte mit 57 weiteren Partnern aus Forschung, Industrie und Mittelstand, um gemeinsam nachhaltige Prozesse und Technologien entlang der gesamten Wertschöpfungskette der Halbleiterfertigung zu entwickeln. Ziel ist die Überführung der Halbleiterproduktion in ein Kreislaufwirtschaftsmodell, das Abfall minimiert, die Wiederverwendung von Ressourcen maximiert und eine innovationsgetriebene Industrie mit geringen Umweltauswirkungen schafft. Das von CEA-Leti, einem der führenden Forschungsinstitute für Elektronik und Informationstechnologie, koordinierte, paneuropäische Projekt ist ein starkes Signal für die Zukunft der europäischen Halbleiterindustrie.

Bosch bringt hierbei seine umfassende Expertise in der MEMS-Technologie ein, um zentrale Fertigungsprozesse nachhaltiger zu gestalten. Wie viele andere Halbleiterbauelemente werden MEMS in komplexen, ressourcen-intensiven Prozessen auf Siliziumwafern gefertigt. Der Einsatz bestimmter Materialien und Gase stellt dabei eine ökologische Herausforderung dar, da diese ein hohes Treibhauspotenzial besitzen oder potenziell umweltschädlich sind. Bosch verfolgt daher einen umfassenden Ansatz zur Reduzierung des ökologischen Fußabdrucks, der Materialinnovationen, Emissionsminderung und Prozessoptimierung kombiniert.

Im Fokus der Bestrebungen im Rahmen von GENESIS steht bei Bosch Research die Erforschung von Alternativen für kritische Materialien und Prozessgase, um den Einsatz umweltschädlicher Substanzen zu reduzieren. Parallel dazu konzentrieren sich weitere Geschäftsbereiche von Bosch auf die Optimierung der Abgasreinigung zur Verringerung der Emission von Prozessgasen und die Entwicklung neuer Verfahren zur Wiederaufbereitung von Säuren, um den Ressourcenverbrauch zu minimieren.

Die Beteiligung an GENESIS unterstreicht das Engagement von Bosch für nachhaltige Technologien. Durch die Verbindung von Forschungskompetenz und anwendungsorientierter Entwicklung trägt Bosch maßgeblich zur umweltfreundlichen Zukunft der MEMS-Sensorproduktion und der gesamten Halbleiterindustrie bei.

GENESIS wird mit einem Budget von knapp 55 Millionen Euro durch die Initiative „Gemeinsames Unternehmen für Chips“ (engl.: „Chips Joint Undertaking“) von der Europäischen Kommission, von den teilnehmenden EU-Mitgliedstaaten und dem Schweizer Staatssekretariat für Bildung, Forschung und Innovation (SBFI) kofinanziert.

Weitere Informationen finden Sie auf der Projektwebseite von GENESIS.