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Unsere Forschungsexperten

Gary Yama

Senior Expert für MEMS-Sensor-Fertigungsprozesse

Ich suche nach fortschrittlichen Sensortechnologien, die in zukünftigen Bosch-Produkten Anwendung finden sollen.

Gary Yama

Ich arbeite in der Bosch Forschung als Ingenieur für die Entwicklung neuer Sensor-Fertigungsprozesse, die in Produkten der nächsten Generation eingesetzt werden sollen. Ich untersuche neue Materialien und Prozesse, und je nachdem, wie vielversprechend sie sind, integriere ich sie in Prototypen, um die Sensorfunktion zu verbessern. Für die Proof of Concept-Phase werden die Teile unter Nutzung der Reinraum-Wafer-Fertigungsanlage der Stanford University hergestellt. Wenn das Proof of Concept erfolgreich ist und eine Nachfrage auf dem Markt besteht, wird das Projekt in die Massenproduktion überführt. Einige dieser Teile werden heute durch das Spin-off-Unternehmen SiTime für die Verwendung in Zeitmessgeräten vermarktet.

Erzählen Sie doch mal: was fasziniert Sie an der Forschung?
Was mich an meiner Forschung am meisten fasziniert, ist die Tatsache, dass ich ein Stück Silizium nehmen und eine Reihe verschiedener Prozesse wie Abscheiden, Strukturieren und Ätzen an ihm durchführen kann. Diese Schritte und Variationen werden mehrmals wiederholt, und das fertige Teil ist am Ende etwas, das Beschleunigung, Temperatur, Rotation, Zeit und andere Faktoren messen kann.

Was macht die Forschung bei Bosch besonders?
Das Besondere an der Forschung bei Bosch ist, dass man die Freiheit hat, neue und ungewöhnliche Dinge auszuprobieren. Wenn etwas nicht das erwartete Ergebnis bringt, kann man weitermachen und etwas anderes ausprobieren, das möglicherweise funktioniert.

An welchen Forschungsthemen arbeiten Sie derzeit bei Bosch?
Die Forschungsthemen, an denen ich arbeite, sind die Graphen-Synthese für biomedizinische Anwendungen und ein DNA-Sensor-Chip.

Was sind die größten wissenschaftlichen Herausforderungen in Ihrem Forschungsfeld?
Die größte wissenschaftliche Herausforderung für meine Forschung besteht darin, einen Prozess zu entwickeln, der für die angestrebte Art der Sensorerfassung funktioniert. Man muss dabei immer vor Augen haben, dass in dem Fall, wenn ein Projekt erfolgreich ist, viele Millionen dieser Teile hergestellt werden, und der in der Forschung und Entwicklung verwendete Prozess auf die Massenproduktion hochskaliert werden muss.

Wie werden Ihre Forschungsergebnisse zu “Technik fürs Leben”?
Die Ergebnisse meiner Forschung werden Teil der „Technik fürs Leben“, wenn sie in Massenprodukten für die breite Öffentlichkeit verwendet werden. Ein Beispiel ist ein Forschungsprojekt, in dessen Rahmen aus Silizium ein Ersatz für ein Quarz-Zeitmessgerät entwickelt wurde. Diese Technologie war erfolgreich und führte zu einer Bosch-Ausgründung in ein Startup-Unternehmen. Heute finden sich diese Silizium-Zeitmessgeräte in einer Reihe von Verbraucherprodukten, wie zum Beispiel in smarten Fitness-Armbanduhren.

Lebenslauf

2011
Gewinner „Idea of the Year“ für „A Novel Non-Contact Thermometer in Smartphones“

Gary Yama

Ausgewählte Publikationen

Veröffentlichungen

J. Stehle et al. (2014)

Silicon migration of through-holes in single- and poly-crystalline silicon membranes
  • J. Stehle, V.A. Hong, A. Feyh, G.J. O’Brien, G. Yama, O. Ambacher, B. Kim, T.W. Kenny
  • Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems Workshop, Hilton Head, p. 32-35
Veröffentlichungen

F. Purkl et al. (2013)

Serpentine geometry for enhanced performance of nanometer-thin platinum bolometers
  • F. Purkl, T. S. English, G. Yama, J. Provine, A. K. Samarao, A. Feyh, B. Kim, G. O'Brien, O. Ambacher, R. T. Howe, T. W. Kenny
  • The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, p. 1507-1510
Veröffentlichungen

F. Purkl et al. (2013)

Sub-10 nanometer uncooled platinum bolometers via plasma enhanced atomic layer deposition
  • F. Purkl, T. English, G. Yama, J. Provine, A. K. Samarao, A. Feyh, G. O'Brien, O. Ambacher, R. T. Howe, T. W. Kenny
  • IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), p. 185-188
Veröffentlichungen

E.J. Ng et al. (2012)

Ultra-stable epitaxial polysilicon resonators
  • E.J. Ng, S. Wang, D. Buchman, C.-F. Chiang, T.W. Kenny, H. Muenzel, M. Fuertsch, J. Marek, U.M. Gomez, G. Yama, G. O’Brien
  • Hilton Head, p. 271-274

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Gary Yama
Senior Expert für MEMS-Sensor-Fertigungsprozesse

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